پردازش قطعات دقیق برای تکمیل تمام محتوای پردازش سطحی در یک فرآیند ممکن نیست، کل فرآیند پردازش قطعات دقیق را می توان به مراحل زیر تقسیم کرد.
1، مرحله زبر کردن.بخش اعظم ماشینکاری هر سطح پردازش را قطع کنید و معیار دقت را پردازش کنید، توجه اصلی افزایش بهره وری تا حد امکان است.
2- مرحله نیمه تمام.عیوبی را که ممکن است پس از ماشینکاری ناهموار ایجاد شود، برش دهید و برای تکمیل سطح آماده شوید که نیاز به دقت ماشینکاری خاصی دارد و از حاشیه تکمیل مناسب اطمینان حاصل کنید، در حالی که ماشینکاری سطح ثانویه را تکمیل می کنید.
3- مرحله پایانیدر این مرحله با استفاده از سرعت برش زیاد، تغذیه کم و عمق برش، حاشیه پایانی باقی مانده از فرآیند قبلی حذف می شود تا سطح قطعه مطابق با الزامات فنی نقشه باشد.
4- مرحله پایان نور.عمدتا برای کاهش ارزش زبری سطح یا تقویت سطح پردازش استفاده می شود، عمدتا برای زبری سطح مورد نیاز پردازش سطح بسیار بالا (RA ≤ 0.32μm) است.
5، مرحله ماشینکاری فوق العاده دقیق.دقت ماشینکاری در 0.1-0.01μm، مقدار زبری سطح ra ≤ 0.001μm مرحله پردازش.روش های اصلی پردازش عبارتند از: برش دقیق، سنگ زنی آینه ریز، سنگ زنی و پرداخت دقیق و غیره.