پردازش قطعات دقیق برای تکمیل تمام محتویات پردازش تمام سطوح در یک فرآیند امکان پذیر نیست و کل فرآیند پردازش پردازش قطعات دقیق را می توان به مراحل زیر تقسیم کرد.
(1) مرحله زبر کردن.قطع بیشتر ماشینکاری هر سطح پردازش و پردازش معیارهای دقیق، توجه اصلی افزایش بهره وری تا حد امکان است.
(2) مرحله نیمه تمام.عیوبی را که ممکن است پس از ماشینکاری ناهموار ایجاد شود، قطع کنید و برای تکمیل سطح آماده شوید، که نیاز به دقت ماشینکاری خاصی دارد و از هزینه تکمیل مناسب اطمینان حاصل کنید، در حالی که ماشینکاری سطح ثانویه را تکمیل می کنید.
(3) مرحله پایان.در این مرحله با استفاده از سرعت برش زیاد، تغذیه کم و عمق برش، حاشیه تکمیل باقی مانده از فرآیند قبلی را حذف کنید تا سطح قطعه مطابق با الزامات فنی نقشه باشد.
(4) مرحله پایان.عمدتاً برای کاهش ارزش زبری سطح یا تقویت سطح پردازش شده استفاده می شود، عمدتاً برای زبری سطح مورد نیاز پردازش سطح بسیار بالا (ra ≤ 0.32 میکرومتر) است.
(5) مرحله ماشینکاری فوق العاده دقیق.دقت ماشینکاری در 0.1-0.01 میکرومتر، مقدار زبری سطح ra ≤ 0.001 میکرومتر مرحله پردازش.روش های اصلی پردازش عبارتند از: برش دقیق، سنگ زنی آینه ریز، سنگ زنی و پرداخت دقیق و غیره.